日前，2022年全国五一劳动奖和全国工人先锋号揭晓，复旦大学微电子学院教授张卫荣获全国五一劳动奖章。今年获这一奖章的全国总共966人，此外200个集体获全国五一劳动奖状，956个集体获全国工人先锋号称号。

张卫教授

复旦大学微电子学院院长、校学术委员会副主任、“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项技术副总师、国务院特殊津贴获得者。

4月29日，知悉自己获得全国五一劳动奖章时，张卫教授正在办公室修改学生论文。谈及荣获奖章，他说：“荣誉只代表过去，我得继续努力工作，每天都有很多事情要做。”

疫情期，张卫返回校园值守岗位已有一个月。他的每一天都很平常，从住所到办公室两点一线。大部分时间，张卫坐在办公桌前，敲着电脑键盘，一坐就是几个小时。

正值毕业季，张卫每天都在花时间审阅、修改学生们的论文。张卫说：“如果学生做得不好，那一定是我的原因。”有时候为了论文中的一段文字，他会和学生反复讨论和斟酌，力求描述准确。五一劳动节当天，他早上7点多就到办公室，查找文献、修改学生的论文，午饭刚过就开始在网上审评论文。

返校以来，除了教学和科研工作，他还关爱学院师生，担起疫情防控的一方责任。作为微电子学院院长，他说，“坚持在第一线防疫，这是我的责任”。借用张卫的话，他就是“一个平凡的人”。但是，在这平淡平凡的背后，有着责任和担当。

搭建第一套原子层沉积

技术的实验研究平台

时光回到20多年前。

1995年6月，张卫博士毕业后到复旦大学做博士后，合作导师是电子工程系的王季陶教授。在这期间，他瞄准本领域的国际学术前沿，开展了先进铜互连技术和低介电常数互连介质等研究，并取得了很好的学术成绩。博士后出站后，张卫留校工作，继续专注于集成电路领域的创新研究。

之后，张卫在德国做了一年半的洪堡学者，2002年5月他回到复旦大学。在学校和学院领导的大力支持下，他在国内率先开展了原子层沉积(ALD)高k栅介质的研究。2003年他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备，随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议，邀请了国内外ALD领域专家参会，迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。

如今，中国原子层沉积学术会议(CALD)已成功举办了9届。张卫教授团队在原子层沉积领域的研究也取得了丰硕成果，发表相关学术论文120多篇。

“做科研就是要锲而不舍”

28年，张卫从一个初出茅庐的科研人员，成长为国内集成电路领域的领军人物，获得无数荣誉。这一切的背后，离不开他的“死磕”。在他看来，“做科研，是我的工作，也是我长久的坚守。”

微电子学院青年教师孙清清，2004年还是一名大四的学生，当时他在张卫教授课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备的时候，他发现旁边总有一个人，那就是张卫。

“几天接触下来，我感觉张老师是一个非常严谨的人，能从他身上学到东西。”本科毕业后孙清清跟着张卫教授攻读研究生。他和张卫的缘分，自2004年延续至今。孙清清也已成长为一名学科带头人。

“有时候，在大家觉得‘没必要’或‘不可能’的时候，他就不放弃，死磕，最后成功推进了。” 孙清清说。

“集成电路领域的研究需要产学研深度合作。”孙清清回忆，“张老师经常带着我们跟企业去谈，有时候每周都要飞过去”。“是张老师的坚持打动了对方，最终合作得以成功。”孙清清说，如果中间不坚持，事情肯定就“泡汤”了。

微电子学院2019年直博士徐航说：“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时，讨论中，他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上，让你看到一些之前没考虑的问题，帮你理清科研思路。”

凭着这份韧劲，张卫几十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年来，他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目，在Science、Nature Materials、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本领域国内外学术期刊及会议上发表论文300多篇，申请发明专利180多项。 

不仅传授知识

更要做有价值的人生导师

“作为一名老师，首要任务是教书育人，为行业培养高质量的人才。”张卫说。除了潜心探索科研工作，张卫坚守在教学一线。他给本科生讲授《半导体材料》课程。一位复旦大学微电子专业20年前毕业的学生，现在已是企业高管，依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。

在张卫看来，“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师，我想不仅仅是做科研，更是作为人生导师。不仅传授知识，更要活用我过去几十年的人生阅历，引导他们成长。”

多年来，他培养了一大批集成电路领域的优秀人才，其中5人获得国家高层次人才等称号，40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员，成长为我国集成电路领域的领军人物。

这两年，张卫还为高中生先修课堂上课，讲授“改变世界的芯片技术”。他说，芯片是现代工业的粮食，是我们国家高科技强国建设的重要一环，希望通过先修课堂，让中学生对研究有了解，激发他们对科研世界的思考。

主动对接国家重大战略需求

为“第一个复旦”建设贡献力量

谈到未来微电子学院的发展，张卫说，学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求，在平台建设、科研创新和人才培养等方面积极进取，特别是要探索集成电路人才培养的新模式，解决产业核心技术问题，培养产业急需的创新型领军人才，走出一条新路径。

张卫说，集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表，将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院，为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。

离开科研、教学，张卫的生活很简单，平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来，他保持良好作息习惯，每天晚上11点之前睡觉，早上6点钟起床，以充沛的精力投入到新的一天。

受疫情影响，这段时间微电子学院实验室暂时“停摆”。作为导师，为了缓解学生的科研焦虑，张卫做了一些调整，让科研不间断，包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课，等待条件允许时快速投入、推进实验。

在“五四”青年节来临之际，张卫寄语：“复旦青年有理想、有抱负。你们处在一个伟大的时代，要树立远大目标，将个人的规划和国家的需求紧密结合，努力成为担当民族复兴大任的时代新人。”