铜互连超薄籽晶层集成溅射和测试系统招标

铜互连超薄籽晶层集成溅射和测试系统招标

发布时间：2012-07-18 浏览次数:28

招标公告

招标项目编号：FD-12-77

项目名称：铜互连超薄籽晶层集成溅射和测试系统

招标方式：公开招标

数量：一套

用户单位：微电子系

联系人：孙清清 13774250691

招标日期：2012.7.27

招标组织单位：复旦大学资产管理处

联系人：施震东

联系电话：65119568－103

资产管理处

2012年7月17日